复旦大学快速退火炉RTP完成验收

复旦大学微电子学院从载德半导体技术有限公司采购了两台RTP-100快速退火炉，一台用于快速退火氧化工艺(RTO)，一台用于快速退火还原工艺。两台快速退火炉均为德国UniTemp公司生产，放置在复旦大学张江校区，本月均通过了学校组织的验收，正式投入科研工作。

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原子层沉积系统的主要功能有哪些呢？

原子层沉积系统在使用之前我们需要了解的知识点也有很多。原子层沉积系统是一种用于化学、材料科学领域的工艺试验仪器。原子层沉积系统具有热ALD沉积氧化物、氮化物、贵金属等薄膜材料的一些功能。

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购买原子层沉积系统时需要注意的几个问题？

关于原子层沉积系统的一些基本信息相信大家也比较清楚，毕竟我们之前也做了详细的了解。用户们在购买原子层沉积系统的时候需要注意的事情也是比较多的，对于这些知识点可能大部分人还不是很清楚吧，为了避免大家买到劣质产品，下面我们来说一下有哪些地方是需要我们注意的，如果你也感兴趣的话可以一起来看看的。

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原子层沉积系统的特点有哪些？

原子层沉积系统是在加热的衬底上连续引入至少两个蒸汽前驱体源，当表面饱和时，化学吸附自动终止。合适的工艺温度会阻碍分子在表面的物理吸附。基本的原子层沉积周期包括四个步骤:脉冲a、清洗a、脉冲b和清洗b，重复沉积周期，直到获得所需的膜厚，这是制造纳米结构以形成纳米器件的工具。

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光刻机未来的发展趋势

光刻机生产厂家要做到未雨绸缪，在生产线有关和街道前提下，还要对下一代光合技术进行研究，现在大规模的集成电路生产主流，光合技术仍然是光系列光刻技术单随着它的高速发展季末时光刻技术的出现，会使光学光刻技术延伸到45微米甚至更小的节点以内，根据科学人员的预测，下一代光刻技术的主要候选者，应该是机子外光刻技术和纳米压印技术，以及无掩膜的光刻技术。

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光刻机是什么？

光刻机又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻。简单地说，光刻机是制造芯片不可缺少的工具，没有光刻机，就没有芯片。

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