光刻机是什么?
- 分类:行业新闻
- 发布时间:2021-08-24 09:50
光刻机是什么?
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- 发布时间:2021-08-24 09:50
光刻机又名掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻。简单地说,光刻机是制造芯片不可缺少的工具,没有光刻机,就没有芯片。
无论是手机的移动处理器还是电脑的桌面处理器,都是芯片的一种形式。现代社会的生产制造已经离不开芯片,所以能制造芯片的光刻机的重要性不言而喻。
光刻是指在硅表面盖上高光敏感性光刻粘合剂,用光线(通常是紫外线、深紫外线、极紫外线)通过口罩照射至硅表面,使光线照射的光刻粘合剂反应的方式工作。
光刻完成后,在没有光刻塑料保护的情况下蚀刻硅部分,然后冲洗其余的光刻粘合剂,就可以实现半导体部件构建在硅表面的过程。
光刻机的工作原理似乎不太复杂,但实际上需要非常困难和非常强大的光刻技术,掌握世界上强大的光刻技术。
在全球45纳米以下的光刻机市场占有80%的份额,目前只有全球能够生产7纳米精度光刻机。听各大手机厂商宣传说自己的芯片采用的是10nm技术或者是7nm技术说的其实就是用哪一个精度的光刻机。
光刻机是时间、技术、财力多方面积累起来的科技产物,国家致力于研发也需要时间。
通过资源整合和技术开发,现在具备了量产14纳米精度光刻机的技术。但是客观来看,14nm和7nm还差很多。
幸运的是,这一差距正在迅速缩小。从突破到量产还需要时间。
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光刻机未来的发展趋势
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光刻机的主要性能
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