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RTP-1200快速退火炉
韩国Ecopia公司生产，最大样品尺寸：15mm X 20mm。RTP-1200特点：使用单相电，普通照明电即可使用；风冷设计、无须采购冷水机；真空退火，可以使用氢氮混合气(<10%比例氢气)。
RTP-100快速退火炉
德国优尼坦公司生产，最大样品尺寸：4英寸晶圆或者100mm x 100mm尺寸样品，RTP-100支持惰性气体保护、低真空或高真空快速热处理。
RTP-150快速退火炉
德国优尼坦公司生产，最大样品尺寸：6英寸晶圆或者156mm x 156mm尺寸样品，RTP-150可以支持惰性气体保护、低真空或高真空快速热处理。
VPO-300快速退火炉
德国优尼坦公司生产，最大样品尺寸：12英寸晶圆或300mm x 300mm尺寸样品，VPO-300支持惰性气体保护、低真空、或高真空快速热处理。
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