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复旦大学快速退火炉RTP完成验收
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复旦大学快速退火炉RTP完成验收

复旦大学微电子学院从载德半导体技术有限公司采购了两台RTP-100快速退火炉,一台用于快速退火氧化工艺(RTO),一台用于快速退火还原工艺。两台快速退火炉均为德国UniTemp公司生产,放置在复旦大学张江校区,本月均通过了学校组织的验收,正式投入科研工作。

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