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产品名称: 光刻机/紫外曝光机 (Mask Aligner)
光刻机又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统,紫外曝光机等;ECOPIA为全球领先的半导体设备供应商,多年来致力于掩模对准光刻机和匀胶机研发与生产,并且广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域;该公司是目前世界上最早将光刻机商品化的公司之一,拥有雄厚的技术研发力量和设备生产能力;并且其设备被众多著名企业、研发中心、研究所和高校所采用;以优秀的技术、精湛的工艺和良好的服务,赢得了用户的青睐。
产地:韩国ECOPIA公司;
型号:M-150
技术规格:
- 掩模尺寸:最大7英寸;
- 样品尺寸:最大6英寸;
- 卡盘移动:X,Y,Z,Theta轴手动,楔形补偿调平;
- 紫外光源:6.25" X 6.25";
- 光源功率:350瓦紫外灯;
- 光源均匀性:<+/-3%;
- 光源365nm波长强度:最大30毫瓦;
- 显微镜:双显微镜系统;
- 显微镜移动:X,Y,Z轴手动调节;
- 显微镜物镜空间:50-150mm;
- 标配放大倍率:80X-400X;
- 显示器:20" LCD;
- 曝光时间:0.1-999秒;
- 接触模式:真空接触,硬接触,软接触,接近接触(距离可调);
- 对准精度:1um (Vacuum Contact), 1.5um(Hard Contact), 3um(Soft Contact), 5um(Proximity Mode);
- 电源:220V,单相,15安培;
主要特点:
- 光源强度可控;
- 紫外曝光,深紫外曝光(Option);
- 系统控制:手动、半自动和全自动控制;
- 曝光模式:真空接触模式(接触力可调),Proximity接近模式, 投影模式;
- 真空吸盘范围可调;
- 专利技术:可双面对准,可双面光刻,具有IR和CCD模式
- 双CCD显微镜系统,最大放大1000倍,显示屏直接调节,比传统目镜对准更方便快捷,易于操作。
- 特殊的基底卡盘可定做;
- 具有楔形补偿功能;
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