产品分类
PRODUCT CATEGORIES
联系我们
CONTACT US
电话：021-65342985
邮箱：info@cross-tech.com.cn
地址：上海杨浦区松花江路251弄白玉兰环保广场7号楼602室
浏览量:
1000
产品名称： 电子束蒸发镀膜机
零售价
0.0
元
市场价
0.0
元
浏览量:
1000
产品编号
55
数量
-
+
库存:
0
产品展示
参数
电子束蒸发系统是化合物半导体器件制作中的一种重要工艺技术。它是在高真空状态下由电子束加热坩埚中的金属，使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜。可蒸发很多难熔金属或者蒸汽压低的金属材料，包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5电子束蒸发镀膜机是英国牛津真空公司生产，台式设计、软件自动操控、高性价比，非常适合实验室科研使用。
技术规格：
- 基底尺寸：3英寸，4英寸，6英寸；
- 基底旋转：0~10rpm；
- 电子束源：Telemark电子束源，单袋或多袋电子束源可选；
- 热蒸发源：最多配置2套热蒸发舟(选配)；
- 腔体：不锈钢或石英腔体可供客户选择；
- 泵：前级干泵，分子泵；
- Load Lock样品传输腔室：手动或自动传输，高真空，支持多种样品衬底(选配)；
- 工艺控制：PC/PLC机制的自动控制、数据处理、远程支持；
- 原位监控：石英晶振监测(QCM)，光学监测，残余气体分析，其他原位监测技术或控制；
- 衬底固定：单衬底固定，客户化衬底固定方式；
- 衬底夹具：加热，冷却，偏置，旋转等；
参考用户：
清华大学、厦门大学、华中科大、广东工大、深圳大学、兰州理工大学、重庆石墨烯研究院等。
关键词:
电子束蒸发镀膜机；电子束镀膜机；
扫二维码用手机看
相关产品
上一页
1
下一页
载德
- 联系电话 021-65342985
- 短信咨询 021-65342985
- 发送邮箱
- 返回顶部
总机：021-65342985 客服热线：021-65342985
周一至周日 8:00-20:30
地址：上海杨浦区松花江路251弄白玉兰环保广场7号楼602室
手机端
搜索