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产品名称: EPS-1000探针台
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产品编号
33
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参数
EPS-1000是韩国Ecopia高端的手动探针台,有锁针设计防止回针,台面快速升降方便晶圆测试,适合科研及微电子器件的失效分析。
产品规格:
- 镀金真空样品吸盘:4", 6", 8"等;
- 样品尺寸:5x5mm ~ 4", 6", 8"等;
- 样品卡盘平整度:10um;
- 探针座精度:0.7um;
- 样品卡盘旋转(Phi):360度;
- 探针台台面快速升降;
- 探针锁位设计,防止回针;
可选附件:
- 显微镜X/Y移动;
- CCD视频镜头;
- 加热台;
- 黑箱、屏蔽箱;
- 防振平台;
- 高倍显微镜 (2000X);
...
参考用户:
四川大学、哈工大、中国海洋大学、郑州大学、华中师范大学、南京大学、湖北大学、湖北工大、东北电力大学、中科院宁波材料所等。
关键词:
探针台;手动探针台;
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