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产品名称： RSO-210真空回流焊炉
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参数
产品名称：RSO-210真空回流焊炉
德国尤尼坦公司生产，最大样品尺寸：210mm x 210mm或8英寸晶圆样品，RSO-210支持惰性气体保护、甲酸、真空热处理。
产品展示：
RSO-210 真空回流焊炉为德国优尼坦公司生产，最快升温速率10摄氏度每秒，可以用于最大210mm×210mm或8英寸晶圆样品，RS0-210支持惰性气体保护、甲酸、真空热处理。
技术规格：
►加热区域： 210mm x 210mm 或8”晶圆;
►最高温度：650摄氏度
►升温速率：最快10 K/s;
►降温速度：最快200 K/Min;
►腔体高度：40mm (选配80mm);
►温控均匀性：±1%设定温度，(e.g.±3K@300 ℃)
►加热方式：红外卤素灯，底部加热
►工艺气路：MFC控制，最多四路(氮气、氩气、氧气等);
►真空：10-3 hPa (高真空10-6hPa选配);
►工艺控制：SIMATIC©人机界面控制，7英寸触摸屏;
►水冷腔体冷却;水冷方式
►主机尺寸及重量：578mm×505mm×570mm，约55kg
仪器特点：
►真空回流焊炉，优越的升降温速率;
►可在不同气氛环境下使用，如甲酸、惰性气体、氧气、氢氮混合气等;
►红外灯加热
►控制方式：SIMATIC, SPS人机界面控制，7英寸触摸屏;
►可存储50个程序，每个程序最多分为50段控制;
►全自动智能控制，包括温度、时间、气体流量、真空度、循环水均可自动设置;
►优异的温控均匀性，极佳的工艺重现性;
►台式设计;
应用领域：
►无助焊剂焊接;
工艺气氛：惰性气体氮气、氧气、氢气、氢氮混合气、甲酸等
含铅和无铅SMT回流工艺
高温陶瓷/氧化铝混合回流工艺
►通孔回流焊工艺;
►LED焊接;
►微电子封装;
►工艺研发;
►质量控制;
选配项目：
►FA甲酸模块;
►MFC工艺气路，最多4路;
►TC多通过测温;
►VAC真空模块;
►TC 辅助热电偶;
►MP隔膜泵，MPC化学防腐隔膜泵;
►RVP旋叶真空泵;
►WC冷水机;
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