产品名称：RVS-210真空回流焊炉

德国优尼坦公司生产，最大样品尺寸：200mm x 200mm尺寸样品，RVS-210支持惰性气体保护、甲酸、低真空或高真空热处理。

产品展示：

RVS-210 真空回流焊炉为德国优尼坦公司生产，最快升温速率120摄氏度每分钟，可以用于最大200mm×200mm尺寸样品，VS-210支持惰性气体保护、甲酸、低真空或高真空热处理。

技术规格：

►加热区域： 200mm x 200mm;

►最高温度：400摄氏度

►升温速率：最快120 K/Min;

►降温速度：最快100 K/Min;

►腔体高度：50mm (选配80mm);

►温控均匀性：±1%设定温度，(e.g.±3K@300 ℃)

►加热方式：红外卤素灯，底部加热

►工艺气路：MFC控制，最多四路(氮气、氩气、氧气等);

►真空：10-3 hPa (高真空10-6hPa选配);

►工艺控制：SIMATIC©人机界面控制，7英寸触摸屏;

►水冷腔体冷却;水冷方式

►主机尺寸及重量：670mm×544mm×320mm，约45kg

仪器特点：

- 真空回流焊炉，有低真空型号(10-3 hPa)、高真空型号(10-6 hPa);

- 可在不同气氛环境下使用，如甲酸、惰性气体、氧气、氢氮混合气等;

- 控制方式：SIMATIC, SPS人机界面控制，7英寸触摸屏;

- 可存储50个程序，每个程序最多分为50段控制;

- 全自动智能控制，包括温度、时间、气体流量、真空度、循环水均可自动设置;

- 优异的温控均匀性，极佳的工艺重现性;

- 台式设计;

应用领域：

► 无助焊剂焊接;

► 倒装芯片焊接工艺;

► 键合;

► Bump回流焊接;

► 微电子封装;

► 功率器件焊接;

► 晶圆热处理;

► 工艺研发;

► 质量控制;

选配项目：

►FA甲酸模块;

►MFC工艺气路，最多4路;

►H2氢气模块;

►TC多通过测温;

►VAC真空模块;

►TC 辅助热电偶;

►MP隔膜泵，MPC化学防腐隔膜泵;

►RVP旋叶真空泵;

►WC冷水机;