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产品名称： 回流焊炉
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参数
德国尤尼坦回流焊炉主要用于研究开发和小规模生产。尤尼坦多个型号回流焊系统主要分为4个系列：
-
- RSS系列小型回流焊系统：RSS-110-S, RSS-160-S, RSS-210-S；
- RVS-210真空回流焊系统，可使用助焊剂；
- VSS-300真空钎焊系统，可使用助焊剂；
- RSO-200回流焊炉；
应用领域：
- 无助焊剂焊接；
- 倒装芯片焊接工艺；
- 键合；
- Bump回流焊接；
- 微电子封装；
- 功率器件焊接；
- 晶圆热处理；
- 工艺研发；
- 质量控制；
技术规格：
- 加热区域：110mm x 110mm (RSS-110-S)；160mm x 160mm(RSS-160-S)；210mm x 210mm(RSS-210-S); 300mm x 300mm (VSS-300)；
- 腔体高度：40mm (选配80mm)；
- 视窗直径：60mm；
- 工艺气体控制：MFC控制，5nlm流量；
- 真空：10-3 hPa (高真空选配)；
- 工艺温度：400摄氏度(500摄氏度或650度选配)；
- 升温速度：>100 K/Min；
- 降温速度：>100 K/Min；
- 工艺控制：SIMATIC©人机界面控制，7英寸触摸屏；
- 水冷腔体；
- 电源：230V, 2.4 kW
选配项目：
- FA甲酸模块；
- MFC工艺气路；
- EH腔体增高；
- H2氢气模块；
- TC多通过测温；
- VAC真空模块；
- MP隔膜泵，MPC化学防腐隔膜泵；
- RVP旋叶真空泵；
- WC冷水机；
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