快速退火炉是一种节能的周期性退火炉。快速退火炉有专门设计的保温层，采用行业内高标准的高纯陶瓷纤维高压模块，形成全纤维保温炉衬。快速退火炉的加热元件从材料到设计都经过严格的质量控制，热效率高，实现快速加热，快速完成退火热处理过程。节能省电的优势更加突出。微电脑程序控制整个退火过程，实时自动计算退火过程所需功率，比去年同期节能节电30-50%。

　　快速退火炉一般采用碘钨灯管作为加热元件，升温非常快。快速退火炉采用S型热电偶测温，控温精度高<5℃。快速退火炉有真空装置，可在各种气氛下工作。应用范围大大提高。标准配件:高温手套1副，热电偶1个，石英管1根，真空法兰1套。可选配件:氧化铝坩埚、石英坩埚、真空泵。

　　快速退火炉具有以下特点:1.使用温度高；2.温控精度高；3.操作简单；4.易于维护

　　快速退火炉需要定期维护，以确保其正常运行

　　快速退火炉主要用于高校实验室和工矿企业，如真空、不同气氛和空气的不同环境下，不同材料的薄膜沉积、样品快速热处理、快速退火、硅化、扩散、结晶和致密化等。

　　快速退火炉维护注意事项:

　　1.快速退火炉在使用或长时间不用后，应在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时，以免炉子开裂。炉温应尽可能不超过额定温度，以免损坏加热元件和炉衬。严禁将各种液体和溶解金属直接倒入炉内，并保持炉内清洁。

　　2.如果在快速退火炉内使用石英管，当温度高于1000℃时，石英管的高温部分会不透明。这叫析晶(也叫结晶)，是连续熔化石英管的固有缺陷，是正常现象。

　　3.使用冷快速退火炉时，由于炉膛较冷，需要吸收大量热量，因此低温段升温速率不易过快，各温段温度上升，升温速率差不容易太大，所以在设定升温速率时要充分考虑烧结材料的理化性能，避免出现喷料污染炉管的现象。

　　4.定期检查温控快速退火炉系统的电气连接部位是否接触良好，并特别注意加热元件的连接点是否紧固。

　　5.快速退火炉使用一段时间后，如果真空度降低，可以更换不锈钢法兰之间的耐高温硅胶圈，或者重新安装不锈钢法兰，或者更换和修理真空系统，以提高系统的整体真空度。

　　6.在快速退火炉工作过程中，如果控制偏差在300℃左右无法消除，温度显示值与程序给定值不一致或摆动过大，检查参数设置是否准确。