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电子束蒸发镀膜机的优点

电子束蒸发镀膜机的优点

电子束蒸发镀膜机的优点

       在玻璃/PC/PMMA基板上形成高精度光学多层膜的电子束蒸发镀膜机;通过组合各种满足客户需求的组件,可以形成质量更好的薄膜。基板伞架采用旋转模式(公转),减少振动和颗粒,使基板稳定旋转。

  

  电子束蒸发镀膜机采用电子束加热,不用坩埚上的片作为蒸发源,可以稳定地形成多层薄膜;利用我公司独特的比例控制方法和多点在线监测,可以形成高精度、稳定的光学多层膜;可以使用可操作性好的电梯来取出基板伞架。

  电子束蒸发镀膜机

  电子束蒸发镀膜机采用均匀分布的高离子电流密度离子源,配备双电子枪,可在多点和环形坩埚中镀100层以上,采用自动蒸发控制系统实现全自动蒸发过程。工件架可以是钟罩式或行星式。


  电子束蒸发镀膜机薄膜测试标准:


  1.电子束蒸发镀膜机初始接触角范围为115°±5°;


  2.电子束蒸发镀膜机钢丝绒摩擦阻力测试标准:使用0000#钢丝绒,面积10*10mm,行程40次/min,负载1Kg,往返摩擦5000次后接触角大于100°;


  3.电子束蒸发镀膜机皮擦测试标准:直径6mm皮擦,行程25次/min,负载1Kg,往返摩擦2500次后接触角大于100°;


  备注:试样的玻璃应是经过抛光的触摸屏盖板专用玻璃,表面光滑。

  

  电子束蒸发镀膜机优点:

  

  1.电子束蒸发镀膜机提高沉积速率以获得更高的产量;


  2.电子束蒸发镀膜机在半导体、光电子和光子学领域实现高精度工艺;


  3.电子束蒸发镀膜机坚固耐用,易于维护。


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